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苏州汶颢微流控技术股份有限企业

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    WH-XQY-01 自动喷淋显影清洗一体机

    • 型号WH-XQY-01
    • 模式自动喷淋显影清洗设备

    WH-XQY-01 台式自动喷淋显影设备可以对7英寸及以下基片进行程控式自动化显影与清洗,最大转速400RPM,最大液量500ml......

    1. 详细信息

    1. 产品概况

    显影清洗一体机(WH-XQY-01)是汶颢股份自主开发的具有独立常识产权的一款产品,针对光刻工艺中的显影与清洗过程而设计开发的,可以进行程控式自动化显影与清洗。该设备可完全替代微流控芯片制作过程中的手动显影与清洗环节,克服了手动显影过程中的显影液加入量不可控、硅片显影时间不可控、同规格硅片间隔显影效果不可控等缺点,最大程度上减少操作人员人为因素导致的显影质量问题以及硅片的损坏。

    2. 技术参数

    转速:0~3000 rpm

    显影液量控制:10~450 mL

    清洗时间控制:0~999 s

    适配硅片/芯片:≤7英寸

    显影时间控制:1~900 s

    进液速度: 30~100%

    电源输入:AC220V±10V/50HZ

    功率:250W

    重量:20 kg

    外形尺寸:510(W)* 450(D)* 350(H)mm

    工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %

    3. 特征图解

     WH-XQY-01 自动喷淋显影清洗一体机外观说明

    WH-XQY-01 自动喷淋显影清洗一体机外观说明


    4.装箱清单

    名称

    单位

    数量

    显影清洗一体机机体

    1

    液体瓶

    2

    废液瓶

    1

    无油真空泵

    1

    吸附盘3寸(适用4、5、6寸硅片)

    1

    吸附盘1寸、2寸、6寸

    选配

    ?6气管

    3

    电源线

    1

    使用手册

    1

    质检报告

    1

    合格证

    1

    保修卡

    1


    有任何疑问或索取详细说明资料请联系我司客服!


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